1800C Tube Furnace with Ultrasonic Bubbler and Electrostatic Precipitator for Nano-Particle Formation semiconductor diffusion

System Structure

Aerosol Generation: 2.4MHz Ultrasonic 

Enhanced Bubbler can "evaporate" catalyst 

liquid with literally no heat generated. A 

stainless steel liquid collector connects inline

 with the ultrasonic bubbler can prevent condensing 

liquid from streaming into the furnace tube chamber. 

Thermal Decomposition: Tube Furnace can be heated

 upto 1800C maximum. By passing the droplets

 flux across the temperature and atomosphere

 regulated firing zone, chemical and physical

 conversion processes proceed.  

Nanopowder Collection: 30KV, 2'' O.D tubular 

designed electrostatic precipitator can effectively

 collect nano size particles from the carrier gas flow

Tube Furnace -

Thermal Decomposition

Voltage & Power

Single Phase, 208V~240V AC, 50/60 Hz   (30A breaker required)

Max. 2.5 KW

Working Temperature

1750oC  continuous

1800 oC  Max. < 1 hours

Max. Heating / Cooling Rate

5oC / min ( T< 1600oC ); 2oC / min ( T>1600oC ) 

Heating Zone & Constant 

Temperature Zone

12" total heating zone length

3" ( +/- 1C )  constant heating zone

Heating Elements

4 pcs Kanthal 1900ºC grade MoSi2 heating elements, made in Sweden

Temperature Controller

PID automatic control via SCR (Silicon Controlled Rectifier) 

power control with phase angle fired, current limiting resistor.

30 programmable segments for precise control of heating rate, 

cooling rate and dwell time.

Built-in over temperature alarm and protection allows for operation 

without attendant.

+/- 1 ºC temperature accuracy.

RS485 Communication Port.

Processing Tube

Premier grade high purity Al2O3 ceramic tube is included for 

operation @ 1500C~1800C. (I.D: 44mm x OD: 50 mm x 1200 mm

 length). Attention: carrier gas flow rate should be strictly controlled 

@ 100SCCM or less.

Mullite tube (I.D: 44mm x OD: 50 mm x 1398 mm length) is included 

for continuous operation upto 1500C. Benefits from its high 

thermoshock resistivity, it can endure a max. carrier gas flow rate 

@ 200SCCM.

Sealing Flanges 

& Fittings

Left sealing flange with 1/4'' feedthrough, needle valve and 

mechanical pressure gauge. A 1/4'' O.D x 17'' L alumina tube 

is inserted to the main chamber. It can deliver the aerosol to 

the hot zone directly. 

Right KF50 quick disconnect flange provides direct coupling for 

the electrostatic precipitator. Water cooling feature can be added

 with additional fee applied.

Aerosol Generation

Utrasonic Enhanced Bubbler

110VAC, 2.4 MHz Utrasonic Generator

Fluoropolymer coated liquid containtor and Fluoropolymer 

sealing gaskets

external Fluoropolymer optical sensor and valve for keeping 

the liquid level to the correct height and preventing damage 

to the nebulizing element, should the unit run dry.

Ultrasonic power programmable,0~100%, 5% increment.

304 Stainless Steel T-piece (1.5'' sanitary fitting) with 1/4'' tube 

fitting adaptors enables the use of carrier gases.

Mass Flow Controller

A MFC is employed to control the carrier gas flow rate. It is very 

important that the gas flow must be controlled <100SCCM in 

order to minimize the thermoshock impact on the furnace tube. 

Condensing Liquid Collector

316 stainless steel made container, 150ml

Two SS needle valves with 1/4" Tube Fittings

The cap is attached to the body with quick disconnect clamp. 

This allows easy removal of components for cleaning

Nanopowder Collection

High Voltage Supply

208~240VAC Single Phase, 15W max.

Digital Voltmeter and Current meter, 30KV, 0.5mA max.

Output voltage and current can be set by using knobs on the 

front panel and read from the digital display

Constant current/Constant Voltage mode of operation

Built-in Arc Protection Circuit

Tubular Electrostatic Precipitator

Negative charged circular mesh plate and Positive charged 1'' O.D 

x 170mmL Al tube collector are built into a transparent 2'' O.D x 

450mm L quartz tube

The use of KF50 quick clamp and flange enables the quick 

coupling to the furnace processing tube

Adjustable balance supports keep the collector leveled 

with the furnace tube

Warranty

One year limited manufacture warranty with life time support (consumable parts such as furnace 

liner, processing tubes, and O-rings are not covered by the warranty, please order replacements at related products below).